光譜分析儀由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。在光譜的測量、各參考點通路信號光功率、各參考點光信噪比、光放大器各個波長的增益系數和增益平坦度的測試都可以使用光譜分析儀。光譜分析儀現在也集成了WDM的分析軟件，可以很方便地把WDM的各個波長的中心頻率、功率、光信噪比等參數用菜單的方式顯示出來。光譜分析儀的總體發展趨勢是測量精度更高、測量范圍更大、體積更小、智能化程度更高、使用更方便。
1、波長范圍
光譜分析儀能夠滿足所有規定性能的被測光信號波長范圍。
2、波長準確度
光譜分析儀測量波長的正確度。為光譜分析儀測定波長與實際波長（標準波長）的大偏差。
3、光譜分辨帶寬
能夠分辨被測信號兩相鄰譜線的能力，表示為被測光信號的半值（-3dB）寬度。
4、電平測量靈敏度
光譜分析儀測量微弱光信號的能力，為光信號電平等于噪聲電平時的值。
5、動態范圍
光譜分析儀可以同時測量到的大信號與小信號之比。常用動態范圍是指峰值附近（如距峰值±0.5nm，土1nm或±5nm處）的動態范圍，以dB士Xnm形式表示。
6、電平測量準確度
光譜分析儀測量光信號幅度的正確度。幅度測量誤差源主要有:校準光源、輸入衰減器、放大電路增益控制、分辨帶寬等。
