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srs UGAPM300 氣體分析儀

簡要描述:srs UGAPM300 氣體分析儀
UGAPM系列過程監測系統是設計用于分析過程氣體的現代質譜儀。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續采樣氣體,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統<1.5 秒響應時間 (0.1 Torr)多點分析多范圍應用幾乎零死體積系統烘烤

  • 產品型號:UGAPM300 分析儀
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-28
  • 訪  問  量:868

詳細介紹

品牌SRS/斯坦福產地類別進口
應用領域電子,電氣

srs UGAPM300 氣體分析儀

UGAPM系列過程監測系統是設計用于分析過程氣體的現代質譜儀。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續采樣氣體,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統<1.5 秒響應時間 (0.1 Torr)多點分析多范圍應用幾乎零死體積系統烘烤和樣品線加熱UGAPM 系列過程監測系統UGAPM 系列過程監測系統是專為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續對氣體進行采樣,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子體蝕刻、蒸發、濺射沉積、真空熱處理、目標老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染物研究、小體積分析(0.1 mL 范圍)等。這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在UGAPM系統中,使用外徑為1/16“或1/8"的SS毛細管來適應中真空采樣。通過這種配置,工藝室和分析儀之間的死體積幾乎為零。工作原理UGAPM內部視圖UGAPM系統使用單級毛細管減壓入口對1 mTorr至20 Torr的氣體進行采樣。在壓力降低到10-6 Torr左右后,氣流被發送到質譜儀(殘余氣體分析儀-RGA),該質譜儀測量每個目標質量的濃度。UGAPM Windows 軟件為復雜的圖形繪制和數據分析提供了圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。多毛細管入口可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置,可以應用于不同位置的特定樣品壓力。另一種是多量程配置,可應用于各種范圍的樣品壓力。


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